%0 Journal Article %T li0.33la0.56tio3薄膜电解质的结构和光电性能 %A 熊玉立 %A 陈红萍 %A 楼贤春 %A 赵修建 %J 武汉理工大学学报 %D 2011 %X ?采用射频磁控溅射法,自制li0.33la0.56tio3陶瓷靶材,在不同基片温度下沉积了li0.33la0.56tio3薄膜。利用x射线衍射仪、原子力学显微镜、电化学工作站、紫外?可见分光光度计等现代测试手段,研究了基片温度对薄膜的结构、形貌、光学和电学性能的影响。结果表明:所制备的li0.33la0.56tio3薄膜为非晶态结构,在可见光波段具有较高的透过率;随着基片温度从50℃升高到300℃,薄膜表面更为平整致密,离子电导率逐渐增加。 %K 磁控溅射 %K li0.33la0.56tio3薄膜 %K 基片温度 %U http://www.whlgdxxb.com.cn//qikan/Cpaper/zhaiyao.asp?bsid=29782