%0 Journal Article
%T 电子回旋共振反应溅射制备zno膜的特性
%A 汪建华
%J 武汉理工大学学报
%D 1999
%X ？zno薄膜可以具有压电性和透光导电性两种不同性质，取决制备中的不同沉积条件。本文介绍采用微波电子回旋共振（ecr）等离子体反应溅射制备zno薄膜的实验装置和方法。在氢气流量是4cm3／s，氧气流量是15cm3／s，基片温度250℃时沉积出高度c轴择优取向的zno膜，其取向分散度为2．5°，偏离度为0．5°。在氢气流量是6cm3／s，氧气流量是0．5cm3／s，基片温度150°时沉积的zno膜其可见光透率85％，电阻车3．27×10－3ω？cm。
%K zno薄膜
%K ecr技术
%K 压电性
%K 透光导电性
%K 反应溅射
%U http://www.whlgdxxb.com.cn//qikan/Cpaper/zhaiyao.asp?bsid=28455