%0 Journal Article %T 利用准分子激光微加工系统制备光子晶体线路 %A 胡芳林 %A 韩永昊 %J 武汉理工大学学报 %D 2009 %X ?主要介绍了先制备胶体光子晶体,再进行光子线路加工的方法。这种方法的优点在于光子线路内胶体粒子的排布可以不受线路形状和宽度的影响,各处都保持六方密堆积结构,这就使得光子线路在各点具有相同的光学性质,因此这种方法适用于大规模的光子芯片制备。 %K 准分子激光 %K 〓微加工 %K 〓胶体粒子 %K 〓自组装 %K 〓光子晶体 %U http://www.whlgdxxb.com.cn//qikan/Cpaper/zhaiyao.asp?bsid=31033