%0 Journal Article
%T 光刻伺服盘检测
%A 罗敢
%J 武汉理工大学学报
%D 1996
%X ？光刻伺服盘系统作为新一代的磁盘伺服定位技术研究成功,通过检测实验,其质量已达到设计要求.
%K 光刻伺服盘
%K 伺服定位
%U http://www.whlgdxxb.com.cn//qikan/Cpaper/zhaiyao.asp?bsid=28018