%0 Journal Article
%T 切削液对金刚石线锯切割单晶硅片质量的影响
%A 高玉飞
%J 武汉理工大学学报
%D 2008
%X ？选择4种切削液进行了电镀金刚石线锯切割单晶硅片的试验,研究了不同种类切削液对硅片的表面形貌、表面粗糙度、翘曲度和总厚度偏差的影响,分析了切削液对线锯切片过程的作用机理。研究结果表明,合成液对提高硅片的表面形貌质量,降低硅片的表面粗糙度、翘曲度和总厚度偏差的综合效果最好。
%K 金刚石线锯
%K 单晶硅片
%K 切片
%K 切削液
%U http://www.whlgdxxb.com.cn//qikan/Cpaper/zhaiyao.asp?bsid=26264