%0 Journal Article
%T 微波等离子cvd低温沉积金刚石膜及其表征
%A 王琳
%J 武汉理工大学学报
%D 2007
%X ？采用ch4/ar/h2气源系统,以si(111)为基片在微波等离子cvd系统中通过工艺的优化在350℃沉积了金刚石膜。研究了不同的基片预处理工艺、微波功率对金刚石结构的影响,用xrd、sem等测试方法进行了表征,xrd测试结果表明金刚石膜中仍存在缺陷和杂质,sem测试结果表明金刚石膜由200nm的球状颗粒组成,存在二次成核现象。
%K 金刚石膜
%K 低温
%K mpcvd
%K 氩气
%U http://www.whlgdxxb.com.cn//qikan/Cpaper/zhaiyao.asp?bsid=25704