%0 Journal Article
%T 石英玻璃抛光质量对腐蚀形貌的影响
%A 邵竹锋
%A 王慧
%A 孙元成
%J 武汉理工大学学报
%D 2009
%X ？抛光后的石英玻璃表面光滑、平整，经过hf酸腐蚀后表面形貌变得凹凸不平。为了解释该现象，从weyl的亚表面理论着手，借助研磨、抛光破坏层模型和微裂纹扩展模型，详细阐述了微裂纹的存在、扩张机理。研磨、抛光后亚表面的微裂纹被认为是造成腐蚀形貌变坏的主要原因。通过不同时间抛光后的腐蚀形貌对比试验证实了该理论和模型。
%K 石英玻璃
%K 抛光
%K 腐蚀
%U http://www.whlgdxxb.com.cn//qikan/Cpaper/zhaiyao.asp?bsid=31808