%0 Journal Article
%T 纳米级压电陶瓷微位移系统的研究
%A 于思远
%A 林滨
%A 韩雪松
%A 刘殿通
%A 刘文芝
%A 刘金华
%J 天津大学学报(自然科学与工程技术版)
%P 537-540
%D 2000
%X 介绍了一种用于纳米磨削的新型微位移系统,该系统由压电陶瓷微位移工作台和计算机控制的专用驱动电源组成,系统精度与压电陶瓷致动器和控制系统密切相关.阐述了以压电陶瓷致动器为核心的微位移工作台和驱动电源的设计原理和设计特点,并用已研制成的高精度高分辨率微位移系统实现了陶瓷样件的纳米镜面磨制
%K 纳米级
%K 压电陶瓷
%K 微位移系统
%U http://xbzrb.tjujournals.com/oa/DArticle.aspx?type=view&id=200004031