%0 Journal Article
%T 检测微表面形貌的mirau相移干涉轮廓仪
%A 张红霞
%A 张以谟
%A 井文才
%A 周革
%A 李岩
%J 天津大学学报(自然科学与工程技术版)
%P 377-380
%D 2005
%X 基于mirau双光束干涉,研制了检测微表面形貌的mirau相移干涉轮廓仪.柯拉照明提供被测面均匀的照明,干涉成像系统是长工作距无限筒长干涉显微镜结构,由mirau干涉物镜和镜筒透镜组成.物镜由光焦度较大的正光组和光焦度较小的负光组组成.轮廓仪的放大率为-10,数值孔径为0.3,工作距5mm,视场0.64×0.48mm2,中心遮拦0.129.相移器为电容式闭环控制的压电陶瓷传感器.通过6幅光纤连接器端面的干涉图,经6步相移法得到其表面形貌.实验结果表明,mirau干涉轮廓仪的横向分辨率为0.875μm,垂直方向的测量范围为5.3μm,重复测量精度为1.7nm.
%K mirau干涉
%K 相移干涉轮廓仪
%K mirau干涉物镜
%K 光纤连接器
%K 压电陶瓷传感器
%U http://xbzrb.tjujournals.com/oa/DArticle.aspx?type=view&id=200505001