%0 Journal Article
%T 一种半导体压力传感器
%A 张为
%A 姚素英
%A 张生才
%A 张维新
%J 天津大学学报(自然科学与工程技术版)
%P 901-903
%D 2005
%X 根据有限元工具ansys的分析结果,设计了一种半导体压阻式压力传感器――绝缘体上硅(soi)压力传感器,并完成了制作.测试表明,除具有良好的静态特性之外,与同类压力传感器相比,soi压力传感器的工作温区宽,最高工作温度可达220℃;稳定性高,30d内的零点漂移小于0.2%;温度特性好,灵敏度温度系数约为-5.1×10-4/℃.此外传感器的结构简单,采用半导体集成电路平面工艺结合微机械加工技术制作,易于实现批量生产,有广阔的应用前景.
%K 绝缘体上硅
%K 高温压力传感器
%K 微机械加工
%U http://xbzrb.tjujournals.com/oa/DArticle.aspx?type=view&id=200510012