%0 Journal Article
%T ？有限元法在谐振式硅微机械加速度计设计中的应用
%A ？钟莹
%A 李醒飞
%A 张国雄
%J 天津大学学报(自然科学与工程技术版)
%P 465-467
%D 2003
%X ？谐振式硅微机械加速度计是新型高精度的微机电系统传感器+作者选用双端固定音叉作为谐振器，设计了一种硅微谐振式加速度计+设计中，使用了有限元分析软件进行了大量辅助分析，对传感器的工作情况进行了仿真+通过模拟和计算，预先估算出谐振器固有频率、应力分布情况以及传感器基本性能参数，这对传感器工艺流程设计及结构改进具有重要意义+有限元分析结果显示，传感器的灵敏度大约为2hz/g
%K 谐振器
%K 加速度计
%K 微机电系统
%K 有限元方法
%U http://xbzrb.tjujournals.com/oa/DArticle.aspx?type=view&id=200304017