%0 Journal Article
%T 微面形貌光电观测系统的光学结构
%A 刘娜
%A 张红霞
%A 张以谟
%A 井文才
%A 李朝辉
%A 周革
%J 天津大学学报(自然科学与工程技术版)
%P 733-736
%D 2004
%X 针对微小面积,特别是微小"盲孔"底面形貌的非接触精密检测,提出了一种基于直接成像原理的光学结构.采用内窥式镜头解决数值孔径受限问题;通过定变焦距镜头组合达到低倍定位和高倍分析要求;利用光学微扫描器实现扫描瞄准功能.针对fc、sc光纤连接器构造设计,探测头可深入内径2.5mm盲孔,设计分辨率达到600p/mm,主要应用于光纤端面检测、精密制造和临床诊断等领域.
%K 盲孔
%K 微小表面
%K 光电检测
%K 光纤端面检测
%U http://xbzrb.tjujournals.com/oa/DArticle.aspx?type=view&id=200408018