%0 Journal Article
%T 基于机器微视觉的微结构平面运动测试技术
%A 金翠云
%A 靳世久
%A 栗大超
%A 冯亚林
%A 郝一龙
%J 天津大学学报(自然科学与工程技术版)
%P 248-252
%D 2005
%X 为了对mems的微结构平面运动特性参数进行提取和分析,基于机器微视觉构建mems动态测试系统,提出模糊图像合成技术.在连续光照明下获取微结构运动图像,利用光学检测方法增强模糊特征带,引入亚像素定位技术提取特征结构边缘,最终获得微结构的平面运动特性参数.实验结果表明,该系统测量误差小于100nm,具有较好的测量重复性精度.与现有系统相比,该系统测量原理简单,实现方便,且能满足微结构的测试需求.
%K 微机电系统
%K 机器微视觉
%K 动态测试
%K 模糊图像
%K 光学检测
%K 亚像素
%U http://xbzrb.tjujournals.com/oa/DArticle.aspx?type=view&id=200503013