%0 Journal Article
%T 平面型共振隧穿二极管和其组成mobile
%A 胡留长
%A 郭维廉
%A 张世林
%A 梁惠来
%A 姚素英
%J 天津大学学报(自然科学与工程技术版)
%P 1360-1363
%D 2006
%X 为了解决传统台面型共振隧穿二极管制作过程中横向钻蚀问题,提出了一种采用离子注入法在n+gaas衬底上制作平面型共振隧穿二极管,通过离子注入对器件之间进行隔离,取代了台面制作工艺中的通过湿法腐蚀隔离器件的目的.研究了它的i-v特性,测得的峰谷电流比为3.4.研究了由平面型共振隧穿二极管构成的单双稳态逻辑单元,实现了作为反相器的功能.
%K 平面型共振隧穿二极管
%K 离子注入
%K 峰谷电流比
%U http://xbzrb.tjujournals.com/oa/DArticle.aspx?type=view&id=200611018