%0 Journal Article
%T 微/纳结构表面3-d轮廓测量中倾斜误差的补偿方法
%A 黄玉波
%A 栗大超
%A 胡小唐
%A 刘钢
%A 胡春光
%A 张文栋
%J 天津大学学报(自然科学与工程技术版)
%P 1237-1240
%D 2006
%X 在对微/纳机电系统进行机械力学特性研究和可靠性测试时,经常需要获取结构的表面3-d轮廓.然而,使用显微干涉法测量微/纳结构的表面3-d轮廓通常会存在一定的倾斜误差,这种误差在某些应用中是不允许的.为了弥补传统的调平补偿方法的局限性,提出了一种基于最小二乘法和坐标变换的倾斜补偿方法:在处理图像时,先用最小二乘法确定一个基准平面,然后旋转直角坐标系使得新坐标系的xoy平面与基准平面平行即可达到调平被测表面而补偿倾斜误差的目的.通过具体应用实例证实了这种补偿方法是有用、灵活而精确的.
%K 微/纳机电系统
%K 三维轮廓测量
%K 调平
%K 最小二乘法
%K 坐标变换
%U http://xbzrb.tjujournals.com/oa/DArticle.aspx?type=view&id=200610018