%0 Journal Article
%T 基于聚焦离子束铣削的复杂微纳结构制备
%A 徐宗伟
%A 房丰洲
%A 张少婧
%A 韩涛
%A 李建明
%J 天津大学学报(自然科学与工程技术版)
%P 91-94
%D 2009
%X 聚焦离子束铣削是一种灵活且高精度的微加工方法，探索通过聚焦离子来铣削进行复杂微纳米结构的加工过程．通过聚焦离子束铣削加工，利用灰度值精确控制离子束加工时间，实现闪耀光栅以及正弦结构等复杂微纳结构的加工过程．同时，利用聚焦离子束对原子力显微镜纳米管探针的长度进行高精度调控，其长度控制精度可以小于50nm．聚焦离子束铣削技术为制备在各种科学工程领域应用的多种复杂微结构提供了有效途径．
%K 聚焦离子束
%K 微加工
%K 铣削
%K 碳纳米管探针
%K 原子力显微镜
%U http://xbzrb.tjujournals.com/oa/DArticle.aspx?type=view&id=200901016