%0 Journal Article
%T 紫外光解法在制备低介电常数氧化硅分子筛薄膜中的应用
%A 袁昊
%A 李庆华
%A 沙菲
%A 解丽丽
%A 田震
%A 王利军
%J 物理化学学报
%D 2007
%K 紫外光解法
%K 高温焙烧法
%K 氧化硅分子筛薄膜
%K 低介电常数
%U http://www.whxb.pku.edu.cn/CN/abstract/abstract21880.shtml