%0 Journal Article
%T 衬底温度对用rf-pecvd法制备的非晶硅薄膜光学性能影响
%A 李世彬
%A 吴志明
%A 朱魁鹏
%A 蒋亚东
%A 李伟
%A 廖乃镘
%J 物理化学学报
%D 2007
%K 非晶硅
%K 光学常数
%K 光学禁带
%K 傅立叶红外光谱
%K 薄膜
%U http://www.whxb.pku.edu.cn/CN/abstract/abstract21886.shtml