%0 Journal Article
%T n型砷化镓微区光电化学腐蚀过程
%A 王卫江
%A 王江涛
%A 金承和
%A 陆寿蕴
%J 物理化学学报
%D 1993
%K 光电化学腐蚀
%K 半导体微刻蚀
%K 光助微刻蚀
%K n-gaas无掩模刻蚀
%U http://www.whxb.pku.edu.cn/CN/abstract/abstract23376.shtml