%0 Journal Article
%T 制备类金刚石薄膜过程中的等离子体发射光谱
%A 张慰萍
%A 陈竞
%A 方容川
%A 胡克良
%J 物理化学学报
%D 1992
%K 等离子体发射光谱
%K 辉光放电
%K 类金刚石薄膜
%U http://www.whxb.pku.edu.cn/CN/abstract/abstract23529.shtml