%0 Journal Article
%T 微圆盘电极技术测定表面化学微加工时的约束刻蚀剂浓度分布
%A 汤儆
%A 马信洲
%A 何辉忠
%A 张力
%A 林密旋
%A 曲东升
%A 丁庆勇
%A 孙立宁
%J 物理化学学报
%D 2006
%K 约束刻蚀剂层技术
%K 微圆盘电极
%K l-胱氨酸
%K gaas
%K 浓度分布
%U http://www.whxb.pku.edu.cn/CN/abstract/abstract24243.shtml