%0 Journal Article
%T 腐蚀介质在缓蚀剂膜中扩散行为的分子动力学模拟
%A 乔贵民
%A 任振甲
%A 张军
%A 胡松青
%A 燕友果
%A 提阳
%J 物理化学学报
%D 2010
%X ？
%K 分子动力学模拟
%K 缓蚀剂膜
%K 腐蚀介质
%K 扩散系数
%U http://www.whxb.pku.edu.cn/CN/abstract/abstract27260.shtml