%0 Journal Article
%T 硅晶片上超薄氧化硅层厚度纳米尺寸效应的xps研究
%A 赵志娟
%A 刘芬
%A 赵良仲
%J 物理化学学报
%D 2010
%X ？
%K 硅晶片
%K sio2膜
%K 纳米厚度
%K 尺寸效应
%K x射线光电子能谱
%K 电子结合能
%K 价带谱
%K 原子外弛豫
%U http://www.whxb.pku.edu.cn/CN/abstract/abstract27275.shtml