%0 Journal Article
%T 衬底温度对zno薄膜生长过程和微结构的影响
%A 刘永利
%A 刘欢
%A 李蔚
%A 赵骞
%A 祁阳
%J 物理化学学报
%D 2013
%X 从原子尺度上去研究薄膜生长过程中温度对薄膜取向性、缺陷结构以及薄膜完整性的影响和作用规律,对于解释薄膜生长的物理本质、控制生长条件、提高薄膜制备的质量具有重要意义.本文应用基于反应力场的分子动力学方法研究了zno薄膜(000l)表面作为衬底的薄膜沉积生长过程,初步讨论了衬底温度(200、500和800k)变化对沉积较薄zno膜质量的影响,部分结果与实验观察相符.结果表明,衬底温度在500k左右时,沉积原子结构径向分布函数曲线特征峰尖锐、明显,有序度较高,注入和溅射对薄膜完整性影响较小,沉积形成的薄膜结构稳定而又致密.在预置衬底表面平坦的情况下薄膜呈现一种链岛状的生长模式,每原子层均具有两种生长取向,导致其生长前锋交汇处形成了一种新的有序缺陷.
%K 分子动力学方法
%K 薄膜生长
%K 微结构
%K zno
%U http://www.whxb.pku.edu.cn/CN/abstract/abstract28316.shtml