%0 Journal Article
%T 大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正
%A 王长军
%A 熊胜明
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2007
%X ？研究了2.2m高真空箱式镀膜机镀膜时的实际膜厚分布情况。对非球面和平面光学元件，分别采用行星夹具和平面公转夹具并利用修正板调节膜厚均匀性。从实验上实现了大口径薄膜均匀性的调节，并获得较为理想的结果。口径在700mm范围内，对于凹面均匀性可以控制在0.7%以内，平面均匀性在1%以内；口径在1200mm范围内凹面元件均匀性可控制在1%以内，平面1300mm口径以内窗口均匀性可控制在1%以内。镀制了口径在400~1300mm的多种天文观测上使用的反射镜、增透膜等，获得了理想的光谱曲线与较好的使用效果。
%K 大口径光学元件
%K 薄膜
%K 均匀性
%K 修正板
%K 修正
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract3115.shtml