%0 Journal Article
%T 抗真空有机物污染增透膜特性分析
%A 晏良宏
%A 蒋晓东
%A 江波
%A 袁晓东
%A 吕海兵
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2007
%X ？采用溶胶-凝胶法，结合氨水后处理工艺制备了抗真空有机物污染的二氧化硅增透膜。该膜峰值透光率为99.8%，在有机污染的真空系统中(10-3pa)保持168h，透光率曲线变化微小，而同样条件下常规二氧化硅增透膜的峰值透光率下降至95.5%。并采用分光光度计、红外光谱、扫描探针显微镜、静滴接触角测量仪、椭偏仪等测试手段分析了薄膜的特性。
%K 抗真空有机物污染
%K 溶胶-凝胶
%K 二氧化硅
%K 增透膜
%K 氨水
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract2976.shtml