%0 Journal Article %T 铒、钪膜中离子注入氦的热解析行为 %A 周晓松 %A 申华海 %A 彭述明 %A 龙兴贵 %A 杨莉 %A 祖小涛 %J 强激光与粒子束 %P 1169-1172 %D 2012 %X ?采用热解析法初步研究了铒、钪膜中离子注入氦的热解析行为。研究结果表明:同种元素铒中离子注入氦的热释放峰位相同,但膜的致密性将影响氦的释放量,结构疏松的膜中存在的孔洞是氦的快速释放通道;在相同注入剂量和能量条件下,铒、钪膜中注入氦的热释放峰位不同,这可能与氦在铒、钪膜中的深度分布及膜的致密性有关,利用质子增强背散射法测量出能量为60kev的4he+在铒、钪膜中的注入深度分别为210,308nm。?? %K 铒膜 %K 钪膜 %K 氦离子注入 %K 热解析 %K 氦泡 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract6158.shtml