%0 Journal Article
%T 双尺度织构的激光光刻工艺
%A 贺海东
%A 郝敬宾
%A 赵恩兰
%A 杨海峰
%A 唐玮
%A 朱华
%A 钱济国
%J 强激光与粒子束
%P 2900-2904
%D 2013
%X ？搭建了双光束激光干涉光刻系统和激光快速扫描系统。利用干涉光刻系统，实现了不同周期、不同深度、大面积的表面规则光栅织构的构筑。利用激光快速扫描器的二维扫描功能，通过控制激光功率和扫描速度，对曝光量和填充线条间距进行了优化。提出了两种双尺度复合织构的制备方法：一种是在激光快速扫描系统中对抗蚀剂表面分别进行x,y方向的扫描光刻，然后在干涉光刻系统中进行双光束干涉光刻；另一种是在激光干涉光刻系统中进行两次曝光，每次曝光的入射角不同。实验结果表明：这两种方法在制备双尺度复合织构方面具有快速、廉价、操作简易等优点。
%K 双光束干涉
%K 双尺度
%K 表面织构
%K 激光光刻
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract8294.shtml