%0 Journal Article
%T 光学膜层缺陷分布特征对损伤行为的影响
%A 蒋晓东
%A 黄进
%A 刘红婕
%A 王凤蕊
%A 周信达
%A 郑万国
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2011
%X ？对多层介质反射膜与单层化学增透膜的损伤形貌、损伤过程及膜层的吸收特性进行了实验研究。结果表明：缺陷除了可以从其形态和光学特征分类外，还可以按缺陷的功能来划分，即以缺陷的损伤阈值来区分不同缺陷的抗激光损伤能力。通过对缺陷吸收率的测量，表明膜层的损伤阈值与缺陷的分布密度和热吸收具有显著的一致性。通过对损伤阈值分布曲线研究，可以有效地对缺陷进行分级判断，从而分析光学元件表面功能性缺陷的分布状况。
%K 光学薄膜
%K 功能性缺陷
%K 损伤阈值
%K 吸收率
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract4289.shtml