%0 Journal Article %T hfo2/sio2双色膜在1064nm和532nm激光辐照下的损伤特性 %A 潘峰 %A 陈松林 %A 李海波 %A 马平 %A 王震 %J 强激光与粒子束 %P 0-0 %D 2011 %X ?采用电子束蒸发的方式,制备了有氧化硅内保护层和没有氧化硅内保护层的1064nm高透过、532nm高反射的hfo2/sio2双色膜,测量了它们的光学性能以及在基频和倍频激光辐照下的抗损伤性能。结果表明:氧化硅内保护层提高了双色膜在基频光辐照下的损伤阈值,对双色膜在倍频光辐照下的损伤阈值无明显影响。通过观察薄膜的损伤形貌,分析破斑的深度信息结合驻波场分布,对两类双色膜在基频光和倍频光下的损伤机制做了初步探讨。分析表明:氧化硅内保护层提高了膜基界面的抗损伤性能,从而提高了双色膜在基频光下的损伤阈值。 %K 双色膜 %K 内保护层 %K 基频光 %K 倍频光 %K 激光损伤 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract4956.shtml