%0 Journal Article
%T 用于icf驱动器的分频光栅两种工艺误差分析
%A 陈德伟
%A 李永平
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2003
%X ？对用于icf驱动器分频光栅的刻槽深度进行了优化，使其具有更优的分频效果。在此基础上，对制作工艺带来的占空比误差和塌边结构进行了分析，给出了分频光栅具有良好分频效果时工艺上所能允许的误差范围。
%K icf系统
%K 分频光栅
%K 占空比
%K 塌边结构
%K 允许误差
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract136.shtml