%0 Journal Article
%T 大口径反射元件环形抛光工艺
%A 谢磊
%A 马平
%A 刘义彬
%A 游云峰
%A 鄢定尧
%J 强激光与粒子束
%P 1687-1690
%D 2012
%X ？根据环形抛光的加工特点，研究了大口径反射元件的环形抛光加工工艺。在4m环抛机上进行了610mm×440mm×85mm的大口径反射元件加工工艺实验，研究了修正盘及工件盘转速与元件面形的关系、修正盘及工件盘位置与元件面形的关系、沥青盘槽形与元件面形的关系。研究结果表明，通过对修正盘及工件盘转速、修正盘及工件盘位置、沥青盘槽形等工艺参数的优化控制，能够得到大口径反射元件面形的高效收敛，元件最高面形精度优于λ/6(λ=632.8nm)，验证了加工工艺的有效性。
%K 环形抛光
%K 大口径反射元件
%K 工艺优化
%K 转速
%K 槽形
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract6379.shtml