%0 Journal Article
%T 能动反射镜低频像差补偿能力分析
%A 杨李成
%A 凌宁
%A 曾志革
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2004
%X ？采用algor软件包并利用有限元法对37单元能动反射镜低频误差补偿能力进行了分析计算，确定了镜面厚度8mm，驱动器间距46mm，极头直径12mm等能动反射镜制造的关键参数。通过计算机仿真分析证明，基于这些参数所设计的能动反射镜可以对低频误差进行有效校正，校正精度的均方根值小于等于λ／８，从而可以为能动反射镜的制造提供理论依据。
%K 能动反射镜
%K 低频误差
%K 有限元法
%K 补偿
%K 影响函数
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract746.shtml