%0 Journal Article
%T 激光沉积大面积均匀薄膜数学模型与实验
%A 陆益敏
%A 王淑云
%A 郭延龙
%A 黄国俊
%A 程勇
%A 田方涛
%J 强激光与粒子束
%D 2015
%X ？由于激光烧蚀靶材产生的等离子体呈高斯分布，其中所包含粒子密度及性能的空间分布极不均匀，因此脉冲激光沉积法难以制备性能与膜厚均匀的大面积薄膜。提出并构建了衬底自转与一维变速平移机构，衬底匀速自转的同时，进行一维平移，越靠近等离子体中心平移速率越大、反之越小，达到均匀镀膜的目的；在此基础上建立了机构运动参数对膜厚影响的数学模型，通过仿真模拟分析关键参数对膜厚分布的影响；通过运动参数优化指导实验，最终获得了直径为200mm、不均匀性不超过±4%的大面积类金刚石膜，与仿真优化结果吻合。
%K 脉冲激光沉积
%K 大面积平面
%K 均匀薄膜
%K 类金刚石膜
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract10458.shtml