%0 Journal Article
%T 弯月面涂胶及其胶厚均匀性的测量
%A 林继平
%A 梁榉曦
%A 刘正坤
%A 王庆博
%A 宝剑光
%A 洪义麟
%A 付绍军
%J 强激光与粒子束
%D 2014
%X ？为实现大面积基片的均匀涂胶，设计组装了一台小型弯月面涂胶样机，实验了200mm×200mm基片的涂胶。利用白光干涉光谱仪扫描测量了弯月面涂胶的胶厚分布，其胶厚均匀性峰谷值偏差低于5%。对弯月面涂胶系统引起的均匀度偏差做了初步分析研究，并对比了测试系统与经校准的台阶仪胶厚测量结果，偏差小于0.8%。
%K 弯月面涂胶
%K 大面积涂胶
%K 白光干涉
%K 胶厚测量
%K 均匀性
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract9543.shtml