%0 Journal Article %T 高功率激光晶体加工技术的研究 %A 侯晶 %A 王洪祥 %A 廖德锋 %A 陈贤华 %A 谢瑞清 %A 王健 %J 强激光与粒子束 %D 2014 %X ?针对高功率激光器中使用的激光晶体关键元件,开展了晶体的先进加工技术的研究。根据lbo及ycob晶体材料的加工特性,选取了定向切割、研磨、预抛光、磁流变抛光、合成盘抛光和机械化学抛光的总体技术路线。对不同种类晶体加工设计了不同的工艺路线,开展了相关加工工艺研究。其中lbo晶体的面形收敛工艺主要采用磁流变抛光,ycob晶体的面形工艺主要采用合成盘抛光。通过组合加工工艺,获得了高质量的晶体加工指标,lbo晶体透射波前0.12λ(λ=632.8nm),粗糙度0.77nm;ycob晶体面形0.11λ,粗糙度0.68nm。确定了晶体元件的整体加工技术路线,并对整个工艺流程开展了工艺实验研究,取得了较好的实验效果,实现了激光晶体的高质量加工指标。 %K 激光晶体 %K 加工技术 %K 面形 %K 粗糙度 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract9198.shtml