%0 Journal Article
%T 色分离光栅镀膜减反技术研究
%A 杨春林
%A 许乔
%A 杨李茗
%A 周礼书
%A 张清华
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2004
%X ？根据惯性约束聚变系统技术要求，提出一种镀膜减反方案，以解决现有光栅由于元件表面反射影响衍射效率的问题。对色分离光栅镀膜减反技术进行了详细的分析，根据标量理论给出了镀膜光栅的各项技术要求，优化了光栅结构参数。模拟计算结果发现，光栅表面反射几乎完全消除，表明可以通过色分离光栅镀膜减反提高衍射效率的目的。该镀膜光栅刻槽深度的优化值为2.84μm，膜厚为等效1/4波长，即71.2nm。
%K 色分离光栅
%K 衍射效率
%K 溶胶凝胶膜
%K 减反技术
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract661.shtml