%0 Journal Article %T 消除相位测量轮廓术中多路径效应的影响 %A 杨洋 %A 龙云飞 %A 吴炜 %A 杨晓敏 %A 刘凯 %J 强激光与粒子束 %D 2015 %X ?提出了一种减小多路径效应带来的误差影响的方法,优化了相位测量轮廓术,利用亮度调制的差分图确定了受多路径效应影响大的区域,并根据相邻像素点的相位进行校正。实验表明,该方法有效地减小了相位误差,提高了三维测量的精度,校正后相位误差的均方根值比校正前减小了约57.3%。 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract10153.shtml