%0 Journal Article
%T 532nmhfo<sub>2</sub>/sio<sub>2</sub>高反膜的激光预处理效应
%A 刘杰
%A 张伟丽
%A 朱美萍
%J 强激光与粒子束
%D 2015
%X ？采用单台阶能量光栅扫描以及r-on-1测试两种不同预处理方式研究了激光预处理技术对532nmhfo2/sio2高反膜的阈值提升效果。用nd:yag二倍频激光对电子束蒸发制备的532nmhfo2/sio2高反膜进行1-on-1损伤阈值测试，然后分别进行单台阶能量光栅扫描以及r-on-1测试。通过对损伤概率以及损伤形貌的分析，发现激光预处理能够去除薄膜内低阈值缺陷，达到提高损伤阈值的目的，损伤阈值分别提高38%和30%。
%K 电子束蒸发
%K 532nm高反膜
%K 激光预处理
%K 损伤阈值
%K 缺陷
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract10083.shtml