%0 Journal Article
%T 压力对纳米金刚石膜生长的影响
%A 胡东平
%A 丰杰
%J 强激光与粒子束
%D 2015
%X ？纳米金刚石膜具有高耐磨能力和低摩擦系数，在多个领域有广阔的应用前景。纳米金刚石膜可通过热丝化学气相沉积方法进行制备。其中，系统压力是关键的参数，适当的压力下可生长纳米金刚石膜，而改变压力则金刚石膜的表面形态将发生变化。实验通过不同压力下制备金刚石膜，采用扫描电镜进行形貌观察，并通过拉曼光谱确定纳米金刚石结构。实验表明，金刚石膜形态随压力变化而改变，一定压力下生长出纳米金刚石膜，降低压力则晶体颗粒变粗。分析其原因是与氢原子的运动密切相关。
%K 纳米金刚石
%K 压力
%K 化学气相沉积
%K 金刚石膜
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract10003.shtml