%0 Journal Article
%T 薄膜体声波谐振器的力敏特性研究
%A 何婉婧
%A 高杨
%A 李君儒
%A 黄振华
%J 强激光与粒子束
%D 2015
%X ？薄膜体声波谐振器(fbar)力传感器作为一种新型的谐振式传感器，力敏特性是其设计原理。以fbar微加速度计为例研究了工作在纵波模式，采用具有纤锌矿结构的aln作为压电薄膜的fbar，施加应力载荷后，其弹性常数改变导致fbar谐振频率偏移的力敏特性。首先，采用有限元(fea)静力学仿真，得到惯性力载荷作用下集成在硅微悬臂梁上的压电薄膜的应力分布；选取最大应力值作为载荷，基于第一性原理计算纤锌矿aln的弹性系数与应力的关系式，预测惯性力载荷作用下aln弹性系数的最大变化量。其次，采用谐响应分析，对比空载和不同惯性力载荷作用下fbar微加速度计的谐振频率和偏移特性，预测fbar微加速度计的加速度-谐振频率偏移特性。最后仿真分析得到：惯性力载荷作用下，fbar微加速度计的谐振频率向高频偏移，灵敏度约为数khz/g；其加速度增量-谐振频率偏移特性曲线具有良好的线性度。
%K 微电子机械系统
%K 薄膜体声波谐振器
%K 力敏特性
%K 谐振频率偏移
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract9983.shtml