%0 Journal Article
%T 基于正交超声驻波场的粒子运动建模和控制
%A 吴立群
%A 叶玅宏
%A 王亚星
%A 林志朋
%A 杨贤龙
%J 强激光与粒子束
%D 2015
%X ？为了获得具有均匀的倒金字塔表面微结构的多晶硅,提出了一种新腐蚀加工方法。通过建立一个相互正交的超声驻波场,来协助硅的化学侵蚀并改善其对光的吸收能力。首先对硅片表面结构进行一些比较,在二维上建立网格状的数学模型。然后建立网格中粒子运动的控制理论模型,并进行仿真验证。最后设计实验用于检验超声驻波对粒子的运动控制效果。多晶硅侵蚀结果说明将超声驻波应用在网格化微加工上是可行、可靠的。
%K 网格化微加工
%K 超声驻波
%K 粒子控制
%K 多晶硅
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract9976.shtml