%0 Journal Article
%T 基于noa73微球与su-8微柱的微探针制作
%A 王伟
%A 贾志浩
%A 段俊萍
%A 崔建利
%A 徐苏坪
%A 张斌珍
%J 强激光与粒子束
%D 2015
%X ？集成紫外固化胶noa73微球与su-8微柱制造的亚毫米探针,可以作为关键部件应用于三坐标测量机。noa73微球通过noa73对其他溶液的界面张力形成,柱子由深紫外光穿过微球曝光su-8形成。这种新技术利用甘油补偿noa73与空气折射率差,使得紫外光透过noa73微球后保持接近平行。最终得到高深宽比的探针结构,高度超过1200μm,微柱侧壁与基底呈89°。
%K 探针
%K 坐标测量机
%K 折射率补偿
%K 微机电系统
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract9969.shtml