%0 Journal Article %T 微透镜变化对半导体激光器光束匀化效果的影响 %A 殷智勇 %A 汪岳峰 %A 尹韶云 %A 杜春雷 %A 贾文武 %A 王军阵 %A 白慧君 %J 强激光与粒子束 %P 2556-2560 %D 2013 %X ?为了实现高均匀性的半导体激光器泵浦光源,研究了成像型光束积分器中微透镜的变化对泵浦光均匀性的影响。详细讨论了微透镜数值孔径与入射光束的角度匹配的问题。推导了高斯光束经成像型光束积分器的光场分布模型,分析了微透镜的边缘衍射对光斑均匀性的影响,明确了微透镜孔径大小的取值范围,并利用zemax进行了系统仿真及实验验证。结果表明,经优化后的成像型光束积分器实现了不均匀性为8.11%的矩形光斑。 %K 半导体激光器 %K 光束整形 %K 边缘衍射 %K 微透镜阵列 %K 成像型光束积分器 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract8122.shtml