%0 Journal Article %T 高功率905nmingaas隧道结串联叠层半导体激光器 %A 李辉 %A 曲轶 %A 张剑家 %A 辛德胜 %A 刘国军 %J 强激光与粒子束 %P 2517-2520 %D 2013 %X ?设计出了隧道结串联叠层半导体激光器结构,采用分子束外延进行激光器材料的外延生长,材料经过光刻、腐蚀、欧姆接触、解理、腔面镀高反射/减反射膜、焊装等工艺,制作成条宽200μm、腔长800μm的半导体激光器。两隧道结激光器在脉冲宽度100ns,重复频率10khz,30a工作电流下输出功率达到80w,峰值发射波长为905.6nm,器件的阈值电流为0.8a,水平和垂直方向的发散角分别为7.8°和25°。 %K 高功率 %K 应变量子阱 %K 隧道结 %K 半导体激光器 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract8114.shtml