%0 Journal Article
%T 脉冲激光晶化非晶硅薄膜的有限差分模拟
%A 袁志军
%A 楼祺洪
%A 周军
%A 董景星
%A 魏运荣
%A 王之江
%J 强激光与粒子束
%P 0-0
%D 2008
%X ？根据热传导原理，建立了脉冲激光晶化非晶硅薄膜的理论模型。运用有限差分方法研究了不同激光波长、能量密度等因素对薄膜温度变化及相变过程的影响。计算了不同波长激光器对厚度500nm非晶硅晶化的阈值能量密度。结果发现，准分子晶化的阈值能量密度最低，但是在同样的能量密度下，熔融深度却不及使用更长波长的激光器。计算并分析了升高衬底温度对结晶速度和晶粒尺寸的影响，模拟结果较好地验证了实验结论和规律。
%K 激光晶化
%K 非晶硅薄膜
%K 多晶硅
%K 有限差分模拟
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract3568.shtml