%0 Journal Article
%T 不同线宽结构杂散光kirk模型分析
%A 黄振芬
%A 曹益平
%A 陈德良
%A 武迎春
%J 强激光与粒子束
%P 1775-1779
%D 2012
%X ？采用kirk测量法的杂散光模型研究了杂散光在不同线宽结构上杂散光的光强变化，通过图像对比度分析了杂散光对不同线宽结构的影响。基于matlab软件仿真分析表明：线宽一定时，线条越稀疏，图像对比度越低，杂散光对成像图形分辨力的影响越大；线条线间比一定时，线宽尺寸越小，图像对比度越低，杂散光对成像图形分辨力的影响也越大。所以杂散光对线宽较小并且线条稀疏空间结构所成的图形造成的影响较大。光刻；kirk测量法；杂散光；点扩散函数；图像对比度？
%K 光刻
%K kirk测量法
%K 杂散光
%K 点扩散函数
%K 图像对比度
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract6448.shtml