%0 Journal Article
%T 环形抛光中频误差的计算模拟
%A 谢磊
%A 张云帆
%A 游云峰
%A 马平
%A 刘义彬
%A 鄢定尧
%J 强激光与粒子束
%P 3307-3310
%D 2013
%X ？通过建立环形抛光的去除模型，从理论上分析了转速比、槽形、元件摆动对于抛光结果的影响，并分析了中频误差产生的原因。模拟结果表明：转速比的差异会产生较大的低频误差，而中频误差会随着低频误差的降低而降低；槽形是中频误差的主要来源，复杂的非对称不规律槽形使抛光路径复杂化，降低中频误差；同时元件的小幅度摆动能够使抛光更加均匀，减小定心式抛光造成的元件表面规则状纹路结构，从而有效减小元件的中频误差。
%K 环形抛光
%K 中频误差
%K 模拟
%K 转速比
%K 槽形
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract8510.shtml