%0 Journal Article %T 熔石英光学元件的损伤前驱及其抑制技术 %A 叶鑫 %A 黄进 %A 王凤蕊 %A 程强 %A 刘红婕 %A 周信达 %A 孙来喜 %A 张振 %A 蒋晓东 %A 郑万国 %J 强激光与粒子束 %P 3220-3224 %D 2013 %X ?基于抛光所引起的熔石英元件表面、亚表面所存在的损伤前驱体分布,研究了不同种类的损伤前驱体所引起的损伤形貌。然后根据不同种类的损伤前驱体分别采用表面活性剂、强氧化性酸、氢氟酸的水溶液对不同的损伤前驱体进行处理。研究结果显示:经过前期预先清洗以后,吸收性杂质所导致的雾状损伤得以消除,亚表面分布的裂纹得以很好地平滑钝化,极大地提升了熔石英光学元件的抗损伤性能,损伤阈值从4.8j/cm2提高到11.0j/cm2,最大提升幅度达到原来的2.3倍。 %K 熔石英 %K 损伤前驱体 %K 氢氟酸 %K 损伤性能 %U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract8491.shtml