%0 Journal Article
%T 惯性约束聚变靶中硅支撑冷却臂的制备
%A 张继成
%A 罗跃川
%A 马志波
%A 杨苗
%A 周民杰
%A 李佳
%A 吴卫东
%A 唐永建
%J 强激光与粒子束
%P 3251-3254
%D 2013
%X ？论述了基于反应离子深刻蚀技术加工惯性约束聚变（icf）靶的硅支撑冷却臂。利用扫描电子显微镜、白光干涉仪和视觉显微系统等对所制备的硅支撑冷却臂的形貌、侧壁陡直度和卡爪径向形变量等参数进行了表征分析。分析结果表明，硅支撑冷却臂的侧壁陡直度大于88°，卡爪径向形变量大于20μm，符合靶的设计要求。
%K 惯性约束聚变靶
%K 硅支撑冷却臂
%K 反应离子深刻蚀
%U http://www.hplpb.com.cn/CN/abstract/abstract8498.shtml